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    台车退火炉的热源都有哪些不同的选择?

    来源:http://www.kfzyy.cn/news541442.html发布时间:2021/1/13 17:58:00

      台车退火炉在多种气氛下,可以提高设备的适用范围,对于退火炉来说热源的选择是非常重要的,它关系到被处理工件的质量问题,那么,退火炉热源有哪些呢?目前,在使用的热源主要有两种:一种是灯光加热,一种是高频感应加热。

      1、灯光加热

      这样的加热方式是由上下两个专用的灯管组或者是单面灯泡构成加热源,加热灯形状以及数目因厂家和被处理的工件尺寸而定,硅片位于双面加热灯中间或者是单面灯的下方进行快速加热。因为这样的装置是线状或者是点状光源构成的面光源,为了达到均匀的加热效果,对每个灯管的一致性要求很高。


      2、高频感应加热

      在石英腔体外缠绕线圈,在石英腔体里面放置平行的石墨加热板。当向线圈里面通入高频电压的时候,在线圈的周边就会产品高频的电磁场,而位于高频交变电磁场里面的石墨板受到感应后发热就会成为热源,由此对腔体里面的硅片进行热处理退火。

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